超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中，超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的直接关系到半导体的成品率，随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高，对超纯水的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中，只要微粒子、电阻率和toc与气泡中的某一指标稍有差异，就会使半导体元件生产的合格率下降。
edi超纯水系统进水水质指标控制措施如下： 1、控制进水电导率。控制预处理过程中的电导率，使edi超纯水系统入口电导率小于40μs/cm，---出水电导率合格，去除弱电解液。 2、工作电压电流控制。系统在运行过程中应选择合适的工作电压电流。同时，edi超纯水系统的电压-电流曲线上存在一个---电压-电流点，它与进水水质、膜和树脂性能、膜结构等因素有关。为了电离一定量的水以产生足够的h+和oh-离子以再生一定量的离子交换树脂，所选edi超纯水系统的电压-电流工作点必须大于---电压-电流点。
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