超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中,超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的直接关系到半导体的成品率,edi纯水设备生产,随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高,对超纯水的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率和toc与气泡中的某一指标稍有差异,就会使半导体元件生产的合格率下降。
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