超纯水的水质直接关系到半导体成品率
在半导体生产中,超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的直接关系到半导体的成品率,随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高,对超纯水的技术要求也在不断提高。
在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率和toc与气泡中的某一指标稍有差异,就会使半导体元件生产的合格率下降。
选择edi超纯水系统应注意哪些问题? 1、产水水质:edi超纯水系统可生产电阻率为0.5mω.cm、2mω.cm、10mω.cm、15mω.cm、18mω.cm水质,不同的行业有不同的水质要求,导致采用的水处理工艺不同,使用的化学品不同,成本自然会有所不同。 超纯水由美国科技界生产,目的是利用蒸馏、去离子、反渗透技术或其他适合的超临界精细技术开发超纯材料(半导体原材料、纳米精细陶瓷材料等)。目前超纯水已广泛应用于生物、医药、汽车等领域。除了水分子(h20),水中几乎没有杂质,半导体纯水设备安装,更不用说---、---和其他有机物质了。当然,唐山半导体纯水设备,人体不需要矿物质和微量元素。超纯水很难通过普通工艺获得。如果水的电阻率大于18mω*cm,接近18.3mω*cm,则称为超纯水。
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