电子超纯水设备-天津纯水设备-天津瑞尔

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    2023-7-2

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设备长期停运时如何保养。

设备长期停运时如何保养。

  答:短期停机(不超过三天),每天必须用保安过滤器冲洗30分钟并---ro组件内充满过滤水。ro装置如长期停机(大于三天),应采用1%---,充满ro组件,然后关闭所有阀门,且每月检查一次。

  超纯水抛光树脂应该如何保管?

  答:防冻,超纯水抛光树脂的保存环境需在周围环境>;40℃情况下,如果温度低于5℃,为防止树脂结冰,可以把树脂放在水溶液中。

  防干,由于超纯水抛光树脂在使用或储运中水份消失,在发生此种情况时,切不可把树脂直接投落水中,而是先将其浸泡于饱和水中,天津纯水设备,使其缓慢膨胀不致破碎





?edi设备的优点:

在半导体生产中,超纯水主要用于清洗硅片。少量水用于配制药剂、硅片氧化的蒸汽源、某些设备的冷却水、电镀溶液的配制。集成电路产品的与产量密切相关。水中的碱金属(k、na等)会使绝缘膜耐压---,重金属(au、ag、cu等)会降低pn结的耐压力,iii族元素 (b、al、ga等)会使n型半导体特性恶化,电子超纯水设备,v族素(p、as、sb等)会使p型半导体特性恶化。---高温炭化水中的磷(约为灰分的20%~50%)会使p型硅片局部变为n型硅片,超纯水设备,导致器件性能下降。水中的颗粒,包括---,如果附着在硅片表面,会导致短路或性能恶化。可见,超纯水在半导体行业的---性。






原因一:颗粒或是胶体堵塞

  进水颗粒度>;5um时会造成进水流道堵塞,引起模块内部水分分部不均匀,从而导致模块整体性能降低。

  建议:在进入edi模块前段增设保安过滤器(<0.2um)。

  原因二:有机物堵塞

  当进水有机物污染toc或tea含量超过设计标准时,淡水室的离子交换树脂和离子膜会发生有机物的堵塞。

  建议:采用高ph值的对淡水室及浓水室循环清洗。





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