保定纯水设备-瑞尔精工品质-edi纯水设备

超纯水系统的四条维护要点

1、对于进水的预处理问题。

预处理中的砂滤器和碳滤器，在使用过一段时间后砂碳会积累一些泥沙、杂质胶体等较大的颗粒物，需要进行定期的反冲洗，从而提高过滤效果。

2、膜元件维护。

超纯水系统中的反渗透膜作为重要部件，需要细心维护。在设计系统时应该设置自动冲洗功能，用以冲走膜片表面的污物，恢复膜通量。

3、定期检查。

运行中我们要定期对系统进行检查，以免出现故障。例如检查和调整---的零部件、压力阀门等，还有查看压力仪表作好记录。

4、及时清洗。

定期擦拭设备内外表面的死角部位，保定纯水设备，清除表面污垢。并且超纯水系统停运时，应及时用清水冲净管道中的残液，否则残液变质后会影响再次启动后的正常运行以及产水。

在半导体生产中，超纯水主要用于清洗硅片。少量水用于配制药剂、硅片氧化的蒸汽源、某些设备的冷却水、电镀溶液的配制。集成电路产品的与产量密切相关。水中的碱金属(k、na等)会使绝缘膜耐压---，edi纯水设备，重金属(au、ag、cu等)会降低pn结的耐压力，iii族元素 (b、al、ga等)会使n型半导体特性恶化，v族素(p、as、sb等)会使p型半导体特性恶化。---高温炭化水中的磷(约为灰分的20%~50%)会使p型硅片局部变为n型硅片，导致器件性能下降。水中的颗粒，包括---，如果附着在硅片表面，会导致短路或性能恶化。可见，超纯水在半导体行业的---性。