超纯水设备-纯水设备-瑞尔

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    2023-5-24

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设备长期停运时如何保养。

设备长期停运时如何保养。

  答:短期停机(不超过三天),每天必须用保安过滤器冲洗30分钟并---ro组件内充满过滤水。ro装置如长期停机(大于三天),应采用1%---,充满ro组件,然后关闭所有阀门,超纯水设备,且每月检查一次。

  超纯水抛光树脂应该如何保管?

  答:防冻,超纯水抛光树脂的保存环境需在周围环境>;40℃情况下,如果温度低于5℃,edi纯水设备,为防止树脂结冰,可以把树脂放在水溶液中。

  防干,由于超纯水抛光树脂在使用或储运中水份消失,在发生此种情况时,切不可把树脂直接投落水中,而是先将其浸泡于饱和水中,使其缓慢膨胀不致破碎





?edi设备的优点:

在半导体生产中,超纯水主要用于清洗硅片。少量水用于配制药剂、硅片氧化的蒸汽源、某些设备的冷却水、电镀溶液的配制。集成电路产品的与产量密切相关。水中的碱金属(k、na等)会使绝缘膜耐压---,重金属(au、ag、cu等)会降低pn结的耐压力,iii族元素 (b、al、ga等)会使n型半导体特性恶化,v族素(p、as、sb等)会使p型半导体特性恶化。---高温炭化水中的磷(约为灰分的20%~50%)会使p型硅片局部变为n型硅片,导致器件性能下降。水中的颗粒,包括---,如果附着在硅片表面,纯水设备,会导致短路或性能恶化。可见,超纯水在半导体行业的---性。






edi超纯水系统进水水质指标控制措施如下:  1、控制进水电导率。控制预处理过程中的电导率,使edi超纯水系统入口电导率小于40μs/cm,电子超纯水设备,---出水电导率合格,去除弱电解液。  2、工作电压电流控制。系统在运行过程中应选择合适的工作电压电流。同时,edi超纯水系统的电压-电流曲线上存在一个---电压-电流点,它与进水水质、膜和树脂性能、膜结构等因素有关。为了电离一定量的水以产生足够的h+和oh-离子以再生一定量的离子交换树脂,所选edi超纯水系统的电压-电流工作点必须大于---电压-电流点。



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