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电子工业用超纯水设备的工艺流程

　　电子工业用超纯水设备的工艺大致分成以下几种：

　　1、电子工业用超纯水设备采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水***沙炭过滤器***精密过滤器***原水箱***阳床***阴床***混床(复床)***纯水箱***纯水泵***后置精密过滤器***用水点

　　2、电子工业用超纯水设备采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水***沙炭过滤器***精密过滤器***原水箱***反渗透设备***混床(复床)***纯水箱***纯水泵***后置精密过滤器***用水点

　　3、电子工业用超纯水设备采用反渗透水处理设备与电去离子(edi)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种，经济，发展潜力---的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水***沙炭过滤器***精密过滤器***原水箱***反渗透设备***电去离子(edi)***纯水箱***纯水泵***后置精密过滤器***用水点

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